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一种基于白光相移干涉术的微结构形貌测试系统及测试方法，系统有依次设置的数字ＣＣＤ摄像机、显微光学系统、压电陶瓷驱动器、干涉物镜以及与压电陶瓷驱动器相连的压电陶瓷控制器，还有提供光源的白光光源和ＰＣ机，ＰＣ机通过图像采集卡与数字ＣＣＤ摄像机连...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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