下载金刚石涂层工件的实时膜厚监控系统及方法的技术资料

文档序号:40909048

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本发明公开一种金刚石涂层工件的实时膜厚监控系统,包括:载料组件,用于放置待镀膜件;激光收发组件,用于发射激光光束以及接收激光光束的信号强度;涂层组件,用于对待镀膜件进行镀膜;移动组件,用于驱动激光收发组件移动;控制单元,分别与激光收发组件、...
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