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检查装置及检查系统制造方法及图纸
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下载检查装置及检查系统的技术资料
文档序号:40907734
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本发明提供检查装置及检查系统。检查装置具备:限制单元,设置于光源与对象区域之间,并限制从该光源朝向该对象区域的光;及摄影单元,拍摄通过所述限制单元并从所述对象区域反射而入射的光,所述限制单元使来自所述光源的光中在所述对象区域中镜面反射的情况...
该专利属于富士胶片商业创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片商业创新有限公司授权不得商用。
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