下载基于伯努利原理的晶圆传送控制方法及传送控制系统的技术资料

文档序号:40906706

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本申请公开基于伯努利原理晶圆传送控制方法及传送控制系统,涉及半导体领域,包括:通过计算机模拟技术获取历史数据;构建混合深度神经网络模型并利用历史数据训练;在晶圆传送带上设置气嘴,将晶圆数据输入混合深度神经网络模型,生成第一传送数据;气嘴根据...
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