下载一种多通道相位调节的压电阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:40905342

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本发明提出了一种多通道相位调节的压电阵列及其制备方法。新型压电阵列使用压电单元PZT‑5、柔性PI覆Cu电极、封装材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)和整流RC电路组装,主要解决由于超声能量分布不均匀导致的总能量输出效果降低的问题。制备步骤包括基...
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