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本技术公开了一种可调平面度的静电吸盘装夹治具,包括有固定底座,所述固定底座上设置有若干高度调节件,各个所述高度调节件环形排列,所述高度调节件远离固定底座一端连接有支撑盘,所述支撑盘与固定底座之间留有调节间隙,各个所述高度调节件设置在调节间隙...该专利属于浙江富乐德半导体材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江富乐德半导体材料科技有限公司授权不得商用。
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