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本发明公开了一种基于运动时间关联控制的芯片外观检测装置及方法，涉及芯片外观光学检测中的缺陷检测技术领域，包括精密调整台、显微成像系统、微运动模块、成像及图像采集模块、运动控制模块、同步时序触发生成模块和信息处理分析模块，所述成像及图像采集模...
该专利属于奈米科学仪器设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奈米科学仪器设备（上海）有限公司授权不得商用。

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