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本技术揭示了清洗机及晶圆加工装置，其中清洗机包括清洗台，还包括移动机构及由其驱动对清洗台上的晶圆进行清洁的清洗件，所述清洗件的至少一侧设置有用于向其喷液的供液件，所述清洗件移动至所述清洗台上的晶圆的中间位置时，所述清洗件的与所述晶圆接触的清...
该专利属于江苏京创先进电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏京创先进电子科技有限公司授权不得商用。

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