下载一种蓝宝石生长炉功率控制系统的技术资料

文档序号:40894074

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种蓝宝石生长炉功率控制系统,包括:功率调节器,功率调节器连接蓝宝石生长炉的加热电源;传感器组,传感器组包括温度传感器组,蓝宝石生长炉包括电极冷却水箱、炉体冷却水箱和隔离箱冷却水箱,温度传感器组包括多个温度传感器,多个温度传感器分...
该专利属于芜湖东旭光电装备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芜湖东旭光电装备技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。