下载基于酸洗工艺失效约束条件的机台派工方法以及系统的技术资料

文档序号:40877076

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本发明公开了一种基于酸洗工艺失效约束条件的机台派工方法以及系统,通过建立一个优化模型,以最小化晶圆组的失效率和炉管设备的空闲时间为目标函数,以晶圆组的酸洗工艺失效约束为约束条件,求解该优化模型,得到最优的派工方案,提高半导体制造的效率和利用...
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