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本发明公开了一种用于多晶行为监测的太赫兹超材料传感检测装置及方法，该装置包括衰减全反射超表面传感器和太赫兹频域光谱系统；其中，该传感器包括用于缓解极性溶剂对太赫兹波强吸收的高阻硅衰减全反射棱镜和在其表面光刻出的能够针对共晶产物或潜在的中间态...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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