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本发明公开了一种MEMS流量传感器的制作方法及由此得到的流量传感器，制作方法包括如下步骤：提供一衬底，于衬底上形成牺牲层，并在牺牲层上刻蚀出窗口；在衬底上形成具有圆弧形截面的内腔，随后去除牺牲层；于衬底及内腔的上表面形成支撑层，并在支撑层表...
该专利属于青岛芯笙微纳电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛芯笙微纳电子科技有限公司授权不得商用。

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