下载复合衬底及其制备方法、半导体器件、电子设备的技术资料

文档序号:40845066

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本申请提供了一种复合衬底及其制备方法、半导体器件、电子设备,涉及半导体技术领域。该复合衬底包括第一衬底和第一层,第一层设置于第一衬底上,且与第一衬底键合。其中,第一层为经激光切片工艺得到的膜层(激光传播经过第一层),激光切片工艺所采用的激光...
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