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本发明公开了一种刻蚀机等离子清洗装置，属于清洗装置技术领域，包括清洗机本体，所述清洗机本体的侧面设置有供气机构，供气机构包括防护外壳、用于对空气起到净化作用的供气组件、若干个用于对空气起到净化作用的除尘组件、用于对空气起到干燥隔净化作用的干...
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