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本发明涉及一种超高温压力传感器结构及其制备方法。该传感器结构包括由内向外依次设置的传输光纤、感压头和支架;感压头包括具有内腔的圆柱体结构和设置在圆柱体结构一端的脉动压力作用膜;内腔包括依次同轴设置且相连通的引导段、光纤容置段和法珀腔;感压头...该专利属于中国电子科技集团公司第四十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十三研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种超高温压力传感器结构及其制备方法。该传感器结构包括由内向外依次设置的传输光纤、感压头和支架;感压头包括具有内腔的圆柱体结构和设置在圆柱体结构一端的脉动压力作用膜;内腔包括依次同轴设置且相连通的引导段、光纤容置段和法珀腔;感压头...