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一种SPAD器件结构及SPAD探测器制造技术
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文档序号:40837046
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一种SPAD器件结构及SPAD探测器。本申请通过一种SPAD器件结构,其特征在于,包括:P型衬底层、P型深阱区、有效吸收区、耗尽区、雪崩区、P阱区、PPLUS区、以及P型阻挡层;所述P型衬底层处于最下方,所述P型深阱区位于所述P型衬底层上方...
该专利属于宁波飞芯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波飞芯电子科技有限公司授权不得商用。
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