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本发明涉及碳化钽化学气相沉积技术领域，具体涉及一种碳化钽化学气相沉积方法及采用该方法制备碳化钽涂层的系统。在升华设备中将钽源粉料升华形成钽源气体，然后在沉积设备中将所述钽源气体进行化学气相沉积形成碳化钽涂层；其中，钽源粉料进入升华设备的流速...
该专利属于湖南德智新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南德智新材料有限公司授权不得商用。

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