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本发明提供半导体离子薄膜材料的制备装置、方法及薄膜材料，包括：真空罐，固定设置于底部基座上；稳流装置，固定设置于真空罐上方，稳流装置的气体出口通过管道与真空罐内部连通；扩散泵，固定设置于底部基座上，其气体入口与真空罐内部连通；前级真空泵，与...
该专利属于芜湖新航薄膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖新航薄膜科技有限公司授权不得商用。

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