下载一种基于二维器件组成的超薄短通道隧穿晶闸管结构的技术资料

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本发明公开了一种基于二维器件组成的超薄短通道隧穿晶闸管结构,属于金属‑半导体技术领域。包括:衬底层结构、半导体模块、绝缘介质层模块、电极模块以及顶层结构;半导体模块位于衬底层结构的上方,且中间有间隙;绝缘介质层模块位于半导体结构的上方的一端...
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