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一种抛光碳化硅的氧化铝/氧化硅复合磨料和抛光液及制备方法和用途技术
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本申请涉及一种抛光碳化硅的氧化铝/氧化硅复合磨料和抛光液及制备方法和用途。本发明提供的一种抛光碳化硅的氧化铝/氧化硅复合磨料,其包括Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;/SiO<...
该专利属于无锡云岭半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡云岭半导体有限公司授权不得商用。
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