温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了用于处理基板的设备，其包括：支承板，包括设置在其中的具有圆盘形状的第一容纳空间，并且支承基板；第一冷却装置，容纳在第一容纳空间中，并且包括相变材料；以及第二冷却装置，设置在支承板中，并且设置成使第一冷却装置的至少一部分介于第二冷...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。