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本发明是一种双层气体喷淋器的清洗方法，具体步骤为：来货检查；IPA擦拭；将喷淋器部件浸入氨水、双氧水和水的混合溶液中，浸泡30分钟以上；第一次纯水冲洗；使用工装连接进气口，另一头连接化学药液槽中，将硝酸、氢氟酸和水的混合溶液通过压缩空气充入...
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