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本技术实施例公开了一种高精度减振装置及固晶机，涉及减振技术领域。高精度减振装置包括第一减振单元、机架、第二减振单元、安装平台以及高精度工艺单元；所述第一减振单元设于所述机架的下侧；所述第二减振单元设于所述机架的上侧，且设于所述安装平台的下侧...
该专利属于深圳鼎晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳鼎晶科技有限公司授权不得商用。

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