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本发明公开了一种双泵大氩气低炉压降氧的方法，包括将两个相同的干泵使用三通连接在一起，再共同连接至单晶炉上，由于单晶炉对炉内压力和气体流速的检测只能给出一个控制信号，因此将一个泵的节流阀开度设置为恒定，此为定频泵，另一个泵通过单晶炉反馈的控制...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。

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