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冷却装置及单晶炉制造方法及图纸
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下载冷却装置及单晶炉的技术资料
文档序号:40805625
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本申请公开了一种冷却装置及单晶炉,属于单晶炉技术领域。包括:冷却组件,冷却组件设置于单晶炉的腔体内,冷却组件用于降低单晶炉的炉内温度;驱动组件,驱动组件设置于单晶炉的腔体外,且驱动组件连接于冷却组件;驱动组件用于驱动冷却组件沿第一方向运动,...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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