下载冷却装置及单晶炉的技术资料

文档序号:40805625

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本申请公开了一种冷却装置及单晶炉,属于单晶炉技术领域。包括:冷却组件,冷却组件设置于单晶炉的腔体内,冷却组件用于降低单晶炉的炉内温度;驱动组件,驱动组件设置于单晶炉的腔体外,且驱动组件连接于冷却组件;驱动组件用于驱动冷却组件沿第一方向运动,...
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