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本技术属于PVD涂层技术领域，具体的说是一种PVD涂层衬板装置，包括衬板本体；衬板本体内侧壁设有固定柱；所述固定柱固接在衬板本体内侧壁；所述固定柱端部开设有设备槽；所述设备槽内侧壁开设有多组通孔；所述通孔内侧壁设有滑动杆；所述通孔和滑动杆均...
该专利属于东莞市英博纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市英博纳米科技有限公司授权不得商用。

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