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一种具有微米柱结构的碳化硅紫外雪崩光电探测器及其制备方法，在碳化硅高掺杂n+型衬底中心向上设圆柱状碳化硅低掺杂n‑型吸收层，在n‑型吸收层中设大面积圆柱管状碳化硅高掺杂p+型电场强度调节层，在n‑型吸收层中心向上设小面积圆柱状碳化硅n型电荷...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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