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本发明涉及半导体技术领域，公开了一种氧化孔径光栅的边发射单模激光器及其制备方法，边发射单模激光器包括顶电极层、第一接触层、第一限制层、第一氧化层、有源层、第二氧化层、第二限制层、第二接触层和底电极层，氧化孔径光栅的边发射单模激光器的波导模式...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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