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本申请公开了一种透明导电膜的沉积方法以及RPD设备，该沉积方法通过该RPD设备在待镀膜衬底的表面沉积透明导电膜，该沉积方法通过第一电源将反应室内的惰性气体转换为等离子体，以蒸发反应室内的铟靶材，通过第二电源蒸发反应室内的钼靶材，在反应室内气...
该专利属于华能（嘉峪关）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华能（嘉峪关）新能源有限公司授权不得商用。

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