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本发明揭示了一种电容式Z轴加速度计，核心检测部分由结构层、锚点层和走线层组成，其中结构层包括可动质量块，可动质量外框，弹性耦合梁和扭摆弹性梁，走线层包含结构层下方的两组以上检测电容极板和信号引出线路，每一组检测电容极板设为单独的差分电容结构...
该专利属于苏州感测通信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州感测通信息科技有限公司授权不得商用。

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