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本发明提供了一种应变平衡高势垒的中波红外大功率量子级联激光器的有源层,量子级联激光器包括InP衬底,以及在所述InP衬底上制备的有源层,有源层包括多个级联周期,每个级联周期包括注入区和有源区;所述注入区在应变InAlAs势垒层嵌套插入AlA...该专利属于广州市南沙区北科光子感知技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广州市南沙区北科光子感知技术研究院授权不得商用。
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本发明提供了一种应变平衡高势垒的中波红外大功率量子级联激光器的有源层,量子级联激光器包括InP衬底,以及在所述InP衬底上制备的有源层,有源层包括多个级联周期,每个级联周期包括注入区和有源区;所述注入区在应变InAlAs势垒层嵌套插入AlA...