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本申请公开了一种多齿光栅的制备方法及制备装置，先将激光光束调制为预设平面内的平行光束，使平行光束入射至具有预设参数的位相掩模，由于位相掩模背离平行光束的表面设置有沿第一方向延伸且沿第二方向周期性间隔排列的多个光栅线条，第一方向和第二方向垂直...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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