下载一种单母版双目衍射光波导制备方法的技术资料

文档序号:40771945

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本发明公开了一种单母版双目衍射光波导制备方法,包括:分别将耦入光栅、转折光栅和耦出光栅加工在不同的基底上,且每个基底上还设有对应光栅的对准标记,将加工后的基底依次记为耦入区母版、转折区母版和耦出区母版,耦入区母版、转折区母版和耦出区母版共同...
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