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本技术涉及机械制造的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，包括设置在过渡腔体底部的回转平台，所述回转平台采用中空结构，其中心旋转部嵌套设置有滚珠丝母，所述滚珠丝母与滚珠丝杆配合，所述滚珠丝杆的一端插入过渡腔体中波纹管的内...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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