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一种硅片参数检测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:40770406
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本发明涉及光伏硅片检测技术领域,它涉及一种硅片参数检测方法及装置,检测方法包括以下步骤:设置参考组,参考组具有第一参考点和第二参考点,第一参考点与第二参考点相对;将硅片上的线区域从参考组的第一参考点和第二参考点之间穿过;获取第一参考点与线区...
该专利属于苏州威华智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州威华智能装备有限公司授权不得商用。
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