下载一种液冷低温等离子体表面处理设备的技术资料

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本技术公开了一种液冷低温等离子体表面处理设备,其特征在于,设有液冷电极,所述液冷电极包括介质管和设置在介质管一侧的冷却液接头结构。本技术液冷低温等离子体表面处理设备,设计了在同一侧进水和出水的液冷电极,对等离子体电极的冷却方式、冷却结构和在...
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