下载一种铁电薄膜制备方法、铁电薄膜及包含其的铁电器件的技术资料

文档序号:40763402

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本发明公开一种铁电薄膜制备方法、铁电薄膜及包含其的铁电器件。该铁电薄膜制备方法,以TEMAH为铪前驱体,以La‑FMD为镧前驱体,以氧等离子体或水源为氧源,通过原子层沉积技术生长HfLaO薄膜;通过HfO<subgt;2</su...
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