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一种重型格栅地板，包含有天板及肋骨结构，以令该肋骨结构与该天板采用铝合金一体成型铸造，其中，该天板上形成有多个贯穿的穿孔，以形成50％以上的通风量，故能满足半导体制程清净度的需求。...
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