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本技术提供一种晶圆吸盘，设置电卡制冷件，通过电卡效应循环制冷，提高控温效率，节省空间，节约资金与人力；采用环保的冷却介质，对生物与环境无危害；部件稳定性高，使用寿命长，更换频率低；可实现多样化，适用范围广，能适应不同结构的机型。...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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