下载片上系统及其制造方法的技术资料

文档序号:40754193

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本公开实施例提供一种片上系统及其制造方法,该片上系统包括衬底和电光调制器,电光调制器包括:输入光波导,位于衬底上方;输出光波导,位于衬底上方且与输入光波导沿第一方向并列设置;第一方向平行于衬底所在的平面;调制波导,位于输入光波导和输出光波导...
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