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本技术涉及特种气体分装设备领域,具体为一种高纯特种气体的分装装置,包括置于地面的底板,所述底板上转动连接有转动盘,所述底板上还设有与转动盘相连的驱动机构,所述转动盘上对称设有两部分气瓶,每部分气瓶包含若干气瓶,所述气瓶被固定机构固定,所述固...该专利属于理纯(上海)洁净技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过理纯(上海)洁净技术有限公司授权不得商用。
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本技术涉及特种气体分装设备领域,具体为一种高纯特种气体的分装装置,包括置于地面的底板,所述底板上转动连接有转动盘,所述底板上还设有与转动盘相连的驱动机构,所述转动盘上对称设有两部分气瓶,每部分气瓶包含若干气瓶,所述气瓶被固定机构固定,所述固...