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硅片的制造方法技术
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文档序号:4074684
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本发明提供一种硅片的制造方法,所述硅片的制造方法具有使用硅锭切割用浆液由硅锭切出具有预定的表面粗糙度的硅块的步骤、以及由所述硅块切出分别具有预定的厚度的硅片的步骤,所述硅锭切割用浆液含有磨粒和碱性物质,所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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