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一种生物感测芯片包括场效应晶体管、绝缘层、导电层和感测层。场效应晶体管具有栅极,绝缘层设置于场效应晶体管上并包覆栅极。导电层设置于绝缘层内,导电层通过导电柱与栅极电性连接。感测层设置于绝缘层上,感测层通过导电柱与导电层电性连接,感测层具有感...该专利属于上海新势聚芯医疗科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新势聚芯医疗科技有限公司授权不得商用。
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一种生物感测芯片包括场效应晶体管、绝缘层、导电层和感测层。场效应晶体管具有栅极,绝缘层设置于场效应晶体管上并包覆栅极。导电层设置于绝缘层内,导电层通过导电柱与栅极电性连接。感测层设置于绝缘层上,感测层通过导电柱与导电层电性连接,感测层具有感...