下载一种长波长InGaN基发光二极管的外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:40743006

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本发明公开了一种长波长InGaN基发光二极管的外延结构及其制备方法。本发明括衬底、非故意掺杂的氮化镓层、n型掺杂的氮化镓层、长沟槽型多量子阱、修复层、发光多量子阱和p型掺杂的氮化镓层;沟槽型多量子阱表面具有环状V型坑,为沟槽型多量子阱和修复...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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