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一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜的制备方法，属于疏水材料的技术制备领域。本发明以高纯碳靶为碳源，高纯CF4气体为氟源，通过反应磁控溅射技术在YB‑3型航空有机玻璃表面低温沉积出厚度约30nm、F原子量约为20％的DLC薄膜，其透光率...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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