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本申请公开一种晶圆固定装置及晶圆镀膜设备，包括固定盘和吸附装置，固定盘用于放置晶圆，吸附装置设置于固定盘底端；固定盘的顶端边缘外侧设置有若干缺口槽，若干缺口槽在固定盘上均匀且等距分布，晶圆的边缘设置有缺口，缺口槽的形状与缺口的形状相匹配，本...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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