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本技术涉及石英舟加工技术领域,特别是涉及一种石英舟组立机,使用机械设备完全替代石墨模具,解决现有技术中一套模具只能组立一种样式石英舟的问题。本技术包括工作台、组立装置、夹持装置和卡盘角度调节装置,组立装置包括卡盘、固定座、X轴滑台,夹持装置...该专利属于大连晶博半导体材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连晶博半导体材料科技有限公司授权不得商用。
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