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一种高通量可稳定极化的铁电-介电薄膜及其制备方法技术
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下载一种高通量可稳定极化的铁电-介电薄膜及其制备方法的技术资料
文档序号:40712686
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本发明公开了一种高通量可稳定极化的铁电‑介电薄膜及其制备方法。所述一种高通量可稳定极化的铁电‑介电薄膜,包括,基底层,以及在所述基底层上依次生长的底电极层和功能层;所述功能层是基于底电极层生长的BaTiO<subgt;3</su...
该专利属于广州先进技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广州先进技术研究所授权不得商用。
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