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本申请提供一种晶圆检测系统及方法、宽谱相干光干涉自聚焦光路，应用于晶圆检测技术领域，采用宽谱相干光的干涉信号的强度作为自聚焦信号，检测光源根据实际需求灵活选取，自聚焦光与检测光通过二向色镜组合或者分束，具有光机结构简单、调试简单、聚焦速度快...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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