下载超声触摸式传感器与电容式压力传感微机电系统融合的技术资料

文档序号:40710023

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本公开涉及超声触摸式传感器与电容式压力传感微机电系统融合。一种触摸式传感器包括:触摸结构,包括触摸界面和与触摸界面相对布置的内界面;电容式超声发射器,被布置在封闭的内部容积内并且被配置为向触摸结构发射超声发射波;电容式超声接收器,被布置在封...
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